Development of low frequency, insulating thick diaphragms for power MEMS applications
Résumé
no abstract
Article Dans Une Revue
Sensors and Actuators A: Physical
Année : 2013
Adrien Badel : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-smb.fr/hal-01322282
Soumis le : jeudi 26 mai 2016-18:49:27
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:56:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01322282 , version 1
Citer
Fabien Formosa, Adrien Badel, Hugues Favreliere. Development of low frequency, insulating thick diaphragms for power MEMS applications. Sensors and Actuators A: Physical , 2013, 189, pp.370--379. ⟨hal-01322282⟩
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