A literature survey on the design approaches and operational issues of automated wafer-transport systems for wafer fabs - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Production Planning and Control Année : 2006

A literature survey on the design approaches and operational issues of automated wafer-transport systems for wafer fabs

Grégory Six  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00387636

Soumis le : lundi 25 mai 2009-17:27:27

Dernière modification le : mardi 28 février 2023-15:36:21

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00387636 , version 1 (25-05-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00387636 , version 1

Citer

J.R. Montoya-Torres. A literature survey on the design approaches and operational issues of automated wafer-transport systems for wafer fabs. Production Planning and Control, 2006, 17 (7), pp.648-663. ⟨hal-00387636⟩

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