Analyse de la texture de couches minces de titane et de nitrure de titane obtenues par PVD.

H. Michel; P. Jacquot; M. Gantois; R.Y. Fillit

Communication Dans Un Congrès Année : 1985

Analyse de la texture de couches minces de titane et de nitrure de titane obtenues par PVD.

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H. Michel

Fonction : Auteur

P. Jacquot

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M. Gantois

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R.Y. Fillit

Fonction : Auteur

Centre Science des Matériaux et des Structures

Département Microstructures et Traitements Thermomécaniques

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https://hal.science/hal-00301025

Soumis le : lundi 21 juillet 2008-09:39:34

Dernière modification le : mardi 28 février 2023-15:36:21

Dates et versions

hal-00301025 , version 1 (21-07-2008)

Identifiants

HAL Id : hal-00301025 , version 1

Citer

H. Michel, P. Jacquot, M. Gantois, R.Y. Fillit. Analyse de la texture de couches minces de titane et de nitrure de titane obtenues par PVD.. Journées d'études sur les dépôts ioniques., Sep 1985, Limoges, France. ⟨hal-00301025⟩

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