Emploi de la réaction résonnante 1H(15N, αγ) pour l'obtention de profils de concentration d'hydrogène dans les matériaux

J.-P. Thomas (1) , C. Pijolat (1) , M. Fallavier (1)

1 IPNL - Institut de Physique Nucléaire de Lyon

Nous présentons ici un ensemble de résultats expérimentaux concernant l'utilisation de la réaction résonnante 1H(15N, αγ) ( ER = 6 385 keV) dans la détermination de profils de concentration d'hydrogène dans différents matériaux. Cette méthode peut être mise en œuvre sur un accélérateur d'au moins 2 500 kV. Parmi les problèmes inhérents à la méthode, l'influence de la qualité du vide, l'état de surface des cibles et la stabilité de l'hydrogène en profondeur sont discutés. Il apparaît cependant que l'ensemble des performances de la méthode (résolution en profondeur de 50 Å, épaisseur analysable de l'ordre du micron et sensibilité voisine de 50 ppm dans le silicium) la place potentiellement au premier rang des méthodes nucléaires actuelles. Divers exemples illustrent les problèmes posés et les performances indiquées.

Mots clés: chemical analysis by nuclear reactions and scattering; heavy ion nucleus reactions; hydrogen; impurity distribution; depth profiling; resonant nuclear reaction; ion beam analysis; H concentration profiles; sup 1 H sup 15 N; alpha+gamma

Domaines: Articles anciens

J.-P. Thomas, C. Pijolat, M. Fallavier. Emploi de la réaction résonnante 1H(15N, αγ) pour l'obtention de profils de concentration d'hydrogène dans les matériaux. Revue de Physique Appliquée, 1978, 13 (9), pp.433-439. ⟨10.1051/rphysap:01978001309043300⟩. ⟨jpa-00244472⟩