Utilisation d'ions lithium pour l'analyse des surfaces et des couches minces

J.-P. Thomas (1) , A. Cachard (1) , M. Fallavier (1) , J. Tardy (1) , S. Marsaud (1) , J. Pivot (1)

1 IPNL - Institut de Physique Nucléaire de Lyon

Dans la tendance actuelle à utiliser des ions plus lourds que les particules α en rétrodiffusion élastique (domaine d'énergie de l'ordre du MeV), l'emploi d'ions lithium apparaît constituer une amélioration notable des caractéristiques essentielles de la méthode. Ceci est particulièrement vrai en ce qui concerne la résolution en profondeur, avec le maintien de la résolution des détecteurs, pour ce type d'ions. Nous présentons ici, en même temps qu'une étude comparative des performances analytiques des ions Li et d'autres particules, quelques applications en montrant l'intérêt dans l'étude des surfaces et des couches minces. Parmi les applications les plus caractéristiques, citons, pour des échantillons épais, l'étude simultanée de la composition des couches d'oxydation anodique formées à la surface d'aluminium et du comportement de l'impureté majeure du bain de formation. Dans les études de couches minces, outre la détermination précise de la stoechiométrie des couches diélectriques AlN, SiO, Al2O3, des effets d'implantation pourront être étudiés, comme l'oxygène dans les couches SiO.

Mots clés: Ion scattering; Lithium ions; Backscattering; Surface analysis; Thin films; Oxide layer; Stoichiometry; Elastic scattering; Investigation method; Experimental study

Domaines: Articles anciens

J.-P. Thomas, A. Cachard, M. Fallavier, J. Tardy, S. Marsaud, et al.. Utilisation d'ions lithium pour l'analyse des surfaces et des couches minces. Revue de Physique Appliquée, 1976, 11 (1), pp.65-72. ⟨10.1051/rphysap:0197600110106500⟩. ⟨jpa-00244044⟩