Amorphous Si Deposition Method Thanks Traditional PECVD Insulator Equipments For Seed Layers Performing - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Amorphous Si Deposition Method Thanks Traditional PECVD Insulator Equipments For Seed Layers Performing

E. Prodhome
  • Fonction : Auteur
D. Gaudin
  • Fonction : Auteur
Matthieu Denoual
P. Guil
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00775877 , version 1 (14-01-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00775877 , version 1

Citer

Olivier de Sagazan, E. Prodhome, D. Gaudin, Matthieu Denoual, P. Guil, et al.. Amorphous Si Deposition Method Thanks Traditional PECVD Insulator Equipments For Seed Layers Performing. Int. Conf. on Microtechnologies for the New Millenium 2005, May 2005, Seville, Spain. ⟨hal-00775877⟩
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