Étalonnage de micromètres objets par microscopie optique

Nicolas Pousset (1) , José Salgado (2) , Georges-Pierre Vailleau (2)

1 LCM - Laboratoire commun de métrologie LNE-CNAM
2 LNE - Laboratoire National de Métrologie et d'Essais [Trappes]

Dans le cadre du programme de recherche et développement du LNE, un nouveau banc d'étalonnage de micromètres objets a été mis en place. Ce banc repose sur l'utilisation d'un système optique de détection composé d'un microscope optique couplé à une caméra CCD, et d'un système interférométrique pour la mesure de distance. Ce dernier permet d'assurer la traçabilité des mesures au Système international d'unités (SI). Cet article présente les choix techniques de conception du banc ainsi que les résultats de plusieurs comparaisons et le budget d'incertitude associé. L'incertitude type sur la mesure de distance entre traits est u(d) = [20^2 + (2,4 × L)^2]^1/2, où u(d) est en nanomètre et L, longueur du micromètre, est en millimètre.

Mots clés: MÉTROLOGIE DIMENSIONNELLE; MICROMÈTRE OBJET; MICROSCOPIE OPTIQUE; INTERFÉROMÉTRIE.; INTERFÉROMÉTRIE

Domaines: Instrumentations et Détecteurs [physics.ins-det]

Nicolas Pousset, José Salgado, Georges-Pierre Vailleau. Étalonnage de micromètres objets par microscopie optique. Revue française de métrologie, 2009, 2 (18), pp.3-11. ⟨hal-00472334⟩