Evaluation of a SrTiO3 sublayer for the integration of ferroelectric material KTN thin films in silicon technology

Annie Guiller (1) , Arnaud-Gides Moussavou (2) , Maryline Guilloux-Viry (1) , Ronan Sauleau (3) , Kouroch Mahdjoubi (3) , Jean Fompeyrine (4) , André Perrin (5)

1 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
2 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
3 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
4 Zuumlrich Research Laboratory
5 LISA (UMR_7583) - Laboratoire Interuniversitaire des Systèmes Atmosphériques

Domaines: Matériaux

Annie Guiller, Arnaud-Gides Moussavou, Maryline Guilloux-Viry, Ronan Sauleau, Kouroch Mahdjoubi, et al.. Evaluation of a SrTiO3 sublayer for the integration of ferroelectric material KTN thin films in silicon technology. E-MRS 2007, May 2007, Strasbourg, France. ⟨hal-00438436⟩