Cubic silicon carbide (3C-SiC) MEMS for gas detection
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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Communication Dans Un Congrès
Année : 2023
Jean-François Michaud : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://univ-tours.hal.science/hal-04515241
Soumis le : jeudi 28 mars 2024-16:51:54
Dernière modification le : mardi 9 avril 2024-16:28:35
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Identifiants
- HAL Id : hal-04515241 , version 1
Citer
Jean-François Michaud, Marc Portail, Daniel Alquier, Dominique Certon, Isabelle Dufour. Cubic silicon carbide (3C-SiC) MEMS for gas detection. WOCSDICE - EXMATEC, May 2023, Palerme (Italie), France. ⟨hal-04515241⟩
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