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, Cependant, deux problèmes restent à résoudre. Le premier concerne la réactivité de

, En effet, même si l'épaisseur de la couche de silicates à l'interface a pu être réduite, elle reste trop importante en vue d'éventuelles applications industrielles, notamment pour le transistor MOS. Le second concerne l'hygroscopicité de La 2 O 3 , préjudiciable pour le dispositif. Pour pallier à ces difficultés

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. Le-sactem-possède-un-filtre-en-Énergie-de-troisième-génération, qui combine une correction d'aberration du spectromètre de troisième ordre avec une caméra CCD multi-port, haute vitesse et haute sensibilité. Elle possède 2048 canaux, ce qui permet d'avoir, à dispersion en énergie égale

, Ainsi, plusieurs signatures venant d'éléments différents peuvent être enregistrées dans une même fenêtre avec une résolution en énergie de l'ordre de l'eV permettant, à partir d'une seule acquisition, une analyse élémentaire quantitative et une analyse des structures fines aux seuils des distributions caractéristiques

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