Conditionnement de capteurs capacitifs dans des systèmes faible consommation

Résumé : De nos jours, les capteurs capacitifs sont largement utilisés dans la mesure de grandeurs physiques telles que le déplacement, l’humidité, la pression, etc. Cette large diffusion est principalement due au développement des technologies MEMS qui ont permis de réduire leur coût, leur taille et leur consommation. Pour mesurer ces variations de capacité, des interfaces de conditionnement électronique ont été développées afin d’obtenir un signal électrique exploitable tel qu’une tension, un courant, un temps, une fréquence ou directement une sortie numérique. C’est dans ce cadre que se positionne l’objectif de cette thèse ; étudier la faisabilité d’une mesure capacitive à sortie numérique à partir d’un pont actif, une architecture développée et brevetée par l’équipe Conception et Test de Microsystèmes du LIRMM pour le conditionnement de capteurs résistifs basse consommation. La conversion numérique utilisée est une modulation Sigma-Delta 1 bit du 1er ordre, relativement facile à implémenter, et donc bien adaptée à l’intégration, à la faible consommation et à la réalisation d’interfaces génériques. Pour le retour 1 bit, deux structures de contre réaction ont été proposées : une contre-réaction résistive et une capacitive. Les résultats théoriques sont comparés à des résultats de simulations et à des mesures obtenues à partir des prototypes fabriqués en technologie CMOS 0,35μm d’Austria MicroSystem (AMS).
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Thèse
Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Montpellier, 2016. Français. 〈NNT : 2016MONTT251〉
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Soumis le : mercredi 6 juin 2018 - 12:41:39
Dernière modification le : mercredi 4 juillet 2018 - 14:50:06
Document(s) archivé(s) le : vendredi 7 septembre 2018 - 13:16:31

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Patcharee Kongpark. Conditionnement de capteurs capacitifs dans des systèmes faible consommation. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Montpellier, 2016. Français. 〈NNT : 2016MONTT251〉. 〈tel-01809023〉

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