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	tel-01215598v1 Thèse Mathieu Foucaud. Etude de la dégradation de la protection par des résines photosensibles de la grille métallique TiN lors de gravures humides pour la réalisation de transistors de technologies sub-28nm Micro et nanotechnologies/Microélectronique. Université Grenoble Alpes, 2015. Français. < NNT : 2015GREAT030 >
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