Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining

Muriel Dardalhon (1) , Vincent Beroulle (2) , Laurent Latorre (3) , Pascal Nouet (3) , Guy Perez (4) , Jean Mare Nicot (4) , Coumar Oudéa (5)

1 LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
2 LCIS - Laboratoire de Conception et d'Intégration des Systèmes
3 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
4 CNES - Centre National d’Études Spatiales [Paris]
5 Airbus Defence and Space [Toulouse]

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Muriel Dardalhon, Vincent Beroulle, Laurent Latorre, Pascal Nouet, Guy Perez, et al.. Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining. Microelectronics Reliability, 2002, 42 (9-11), pp.1777-1782. ⟨10.1016/S0026-2714(02)00230-5⟩. ⟨lirmm-00268582⟩