Propriétés des couches de ZrO2 et de HfO2 obtenues par évaporation thermique réactive

F. Tcheliebou; Alexandre Boyer; J. Cheron

doi:10.1051/jp4:19937156

Article Dans Une Revue Journal de Physique IV Proceedings Année : 1993

Propriétés des couches de ZrO2 et de HfO2 obtenues par évaporation thermique réactive

, ,

F. Tcheliebou

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Alexandre Boyer

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PersonId : 13283
IdHAL : alexandre-boyer
IdRef : 120179741

J. Cheron

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Archivage à long terme le : lundi 17 mai 2010-17:24:10

Dates et versions

jpa-00251779 , version 1 (04-02-2008)

Identifiants

HAL Id : jpa-00251779 , version 1
DOI : 10.1051/jp4:19937156

Citer

F. Tcheliebou, Alexandre Boyer, J. Cheron. Propriétés des couches de ZrO2 et de HfO2 obtenues par évaporation thermique réactive. Journal de Physique IV Proceedings, 1993, 03 (C7), pp.C7-1003-C7-1006. ⟨10.1051/jp4:19937156⟩. ⟨jpa-00251779⟩

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