Instabilités dans les structures MOS 6H-SiC

Christophe Raynaud , Jean-Luc Autran , Frédéric Seigneur , Claude Jaussaud , Thierry Billon , Gérard Guillot , Bemard Balland

Nous présentons une étude des différentes instabilités observées dans des structures MOS 6H-SiC de type p par différentes techniques de mesures de capacité, de charge et de courant ainsi que par TSIC (Thermally Stimulated Ionic Current). Les analyses de l'hystérésis et de la déformation des courbes capacité-tension montrent la présence simultanée d'états d'interface rapides et de pièges d'oxyde, avec une densité en milieu de bande interdite de l'ordre de 5 à 7 ×1010 eV-1.cm-2 et un pic d'états d'interface avoisinant les 3 ×1012 eV-1.cm-2 à E = Ev + 0,53 eV. Par ailleurs, les spectres TSIC mettent en évidence l'existence de charges mobiles en concentration de l'ordre de 1012 cm-2. Le comportement de la couche d'inversion est également étudié à différentes températures. Nous montrons que la génération de porteurs minoritaires est assistée par des défauts profonds de type centres de génération.

Domaines: Articles anciens

Christophe Raynaud, Jean-Luc Autran, Frédéric Seigneur, Claude Jaussaud, Thierry Billon, et al.. Instabilités dans les structures MOS 6H-SiC. Journal de Physique III, 1994, 4 (5), pp.937-952. ⟨10.1051/jp3:1994176⟩. ⟨jpa-00249157⟩