Couches minces diélectriques de phosphate d'aluminium

S. Daviéro , C. Avinens , A. Ibanez , J. Giuntini , E. Philippot

Réalisation de couches minces de phosphate d'aluminium sur substrat de silicium à partir des précurseurs tributylphosphate et acétylacétonate d'aluminium en solution par la méthode “pyrosol". La composition chimique des dépôts varie rapidement en fonction des conditions expérimentales. Ces couches minces sont caractérisées par spectrométrie infrarouge et diffraction des RX. Leurs caractéristiques électriques, déterminées par conductivité électrique en courant continu et alternatif, sont nettement différentes de celles du phosphate d'aluminium cristallisé et s'expliquent par l'existence de “liaisons pendantes” AI-O et P-O.

Domaines: Articles anciens

S. Daviéro, C. Avinens, A. Ibanez, J. Giuntini, E. Philippot. Couches minces diélectriques de phosphate d'aluminium. Journal de Physique III, 1993, 3 (4), pp.745-756. ⟨10.1051/jp3:1993160⟩. ⟨jpa-00248954⟩