Direction et distance d'analyse à la sonde atomique

D. Blavette (1) , J.M. Sarrau (1) , A. Bostel (1) , J. Gallot (1)

1 GPM - Groupe de physique des matériaux

Les résultats d'analyse à la sonde atomique se présentent sous la forme d'une liste d'arrivée des atomes qui correspond à l'investigation en profondeur de l'échantillon. Pour une pleine exploitation des résultats, en particulier dans les profils de composition, cette liste doit être reliée au réseau réel de l'échantillon. A partir d'un modèle représentant la forme des échantillons, la direction et la surface d'analyse sont définies en tout site d'investigation. La profondeur d'analyse est ensuite exprimée en fonction du nombre de plans évaporés. Une expression du volume analysé est proposée et conduit à une relation donnant la profondeur d'analyse en fonction du nombre d'atomes reçus. Enfin une constante d'expérimentation est introduite et montre la contribution des différents facteurs mis en jeu.

Mots clés: atom probe field ion microscopy; atom probe analysis; evaporated atoms; composition profiles; emitter shape model

Domaines: Articles anciens

D. Blavette, J.M. Sarrau, A. Bostel, J. Gallot. Direction et distance d'analyse à la sonde atomique. Revue de Physique Appliquée, 1982, 17 (7), pp.435-440. ⟨10.1051/rphysap:01982001707043500⟩. ⟨jpa-00245019⟩