Microanalyse et microscopie photoélectroniques X: principe et performances prévisibles

J. Cazaux

En calculant l'intensité des photoélectrons X émis par un objet ayant la forme d'un film mince et placé sous une anticathode à faces parallèles, nous montrons qu'il est possible de conférer à la spectroscopie des photoélectrons un caractère microanalytique avec une résolution spatiale de l'ordre de 1 μ. Nous en déduisons, pour le microscope à balayage, un mode de fonctionnement avec lequel on obtiendrait une image spécifique non seulement de la nature des éléments constituant la préparation mais aussi de leur degré d'oxydation. Après les avoir comparés, nous indiquons comment l'appareil projeté permet de combiner les mesures effectuées en spectrométries Auger et en ESCA.

Mots clés: electron microscope applications; electron microscopy; electron probe analysis; spectrochemical analysis; X ray photoelectron microscopy; photoelectron microanalysis; scanning electron microscopy

Domaines: Articles anciens

J. Cazaux. Microanalyse et microscopie photoélectroniques X: principe et performances prévisibles. Revue de Physique Appliquée, 1975, 10 (5), pp.263-280. ⟨10.1051/rphysap:01975001005026300⟩. ⟨jpa-00243912⟩