La microscopie électronique à balayage et ses applications métallurgiques

J. Philibert

Dans le microscope électronique à balayage, l'objet est exploré séquentielle-ment, ligne après ligne, par une sonde électronique très fine. Les électrons secondaires et rétrodiffusés émis à l'impact de celle-ci sont captés et constituent un signal qui module la brillance du faisceau d'un oscillographe cathodique sur l'écran duquel l'image est reconstituée point par point. Le pouvoir de résolution peut être meilleur que 100 Å et la profondeur de champ supérieure de plusieurs centaines de fois à celle du microscope optique ; les échantillons massifs peuvent être directement observés dans le microscope, ce qui représente un avantage certain sur le microscope électronique à transmission. De nombreuses applications métallographiques et microfractographiques ont déjà été signalées.

Mots clés: SEM; Operation; Application; Metallurgy; Metallography; Fracture mode; Slip line; Experimental study

Domaines: Articles anciens

J. Philibert. La microscopie électronique à balayage et ses applications métallurgiques. Revue de Physique Appliquée, 1968, 3 (4), pp.325-330. ⟨10.1051/rphysap:0196800304032500⟩. ⟨jpa-00242867⟩