ANALYSE DES SURFACES SOLIDES PAR S.I.M.S. UTILISANT UN FAISCEAU PRIMAIRE DE PARTICULES NEUTRALISÉES

G. Borchardt , Sébastien J. Weber , H. Scherrer , S. Scherrer

La méthode S. I. M. S. utilisant des particules primaires neutralisées (NPB-SIMS) appliquée aux isolants permet d'analyser les ions secondaires positifs ou négatifs sans modifier la distribution des éléments mobiles dans le solide. Les conditions à respecter concernant les champs électriques induits et les mobilités des éléments sont discutées pour des matériaux tels que les oxydes et verres silicatés.

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G. Borchardt, Sébastien J. Weber, H. Scherrer, S. Scherrer. ANALYSE DES SURFACES SOLIDES PAR S.I.M.S. UTILISANT UN FAISCEAU PRIMAIRE DE PARTICULES NEUTRALISÉES. Journal de Physique Colloques, 1984, 45 (C2), pp.C2-801-C2-804. ⟨10.1051/jphyscol:19842184⟩. ⟨jpa-00223859⟩