Mesure de l'épaisseur des films minces pendant leur formation sous vide

Article Dans Une Revue J. Phys. Phys. Appl. Année : 1960

J.C. Bruyère

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Vacuum deposition Thin film Measurement method Thickness measurement Calibration Electrical method

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J.C. Bruyère. Mesure de l'épaisseur des films minces pendant leur formation sous vide. J. Phys. Phys. Appl., 1960, 21 (S11), pp.222-223. ⟨10.1051/jphysap:019600021011022201⟩. ⟨jpa-00212803⟩

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