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Rapport (Rapport Technique) Année : 2019

Développement d'une platine de déplacements nanométriques pour la réalisation d'un Microscope à Force Atomique (AFM) rapide

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2022-03-09 Rapport Olympia mems laurent mazenq.pdf (3.69 Mo) Télécharger le fichier
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-03603368 , version 1 (09-03-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03603368 , version 1

Citer

Laurent Mazenq, Lucien Schwab, Nicolas Mauran, Denis Lagrange, Xavier Dollat, et al.. Développement d'une platine de déplacements nanométriques pour la réalisation d'un Microscope à Force Atomique (AFM) rapide. [Rapport Technique] LAAS-CNRS. 2019. ⟨hal-03603368⟩
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