Surface acoustic wave generation and propagation on polar glass-ceramic for high temperature sensors

F. Dupla (1) , Marie-Sophie Renoirt (1) , Maurice Gonon (1) , Nikolay Smagin (2, 3) , Marc Duquennoy (2, 4, 3) , Gregory Martic (5) , Mohamed Rguiti (6)

1 UMons - Université de Mons
2 IEMN-DOAE - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - Département Opto-Acousto-Électronique - UMR 8520
3 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
4 TPIA - IEMN - Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN
5 CRIBC
6 LMCPA - Laboratoire des Matériaux Céramiques et Procédés Associés - EA 2443

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Informatique [cs]; Physique [physics]

F. Dupla, Marie-Sophie Renoirt, Maurice Gonon, Nikolay Smagin, Marc Duquennoy, et al.. Surface acoustic wave generation and propagation on polar glass-ceramic for high temperature sensors. 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators, and Microsystems & Eurosensors XXXIII, TRANSDUCERS 2019 & EUROSENSORS XXXIII, Jun 2019, Berlin, Germany. ⟨10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808519⟩. ⟨hal-03586843⟩