Contact-Free MEMS Devices for Reliable and Low-Power Logic Operations

Y. Perrin (1) , A. Galisultanov (1) , L. Hutin (1) , Philippe Basset (2, 3) , H. Fanet (1) , G. Pillonnet (1)

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 Université Gustave Eiffel
3 ESYCOM - Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Y. Perrin, A. Galisultanov, L. Hutin, Philippe Basset, H. Fanet, et al.. Contact-Free MEMS Devices for Reliable and Low-Power Logic Operations. IEEE Transactions on Electron Devices, 2021, 68 (6), pp.2938-2943. ⟨10.1109/TED.2021.3070844⟩. ⟨hal-03527218⟩