Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2002
Didier Tonneau : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03521608
Soumis le : mardi 11 janvier 2022-16:40:04
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:25
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03521608 , version 1
Citer
D. Tonneau, Bouchiat V., Faucehr M., Fournier T., Pannetier B., et al.. Resistless Patterning of Quantum Nanostructures by Local Anodization with an Atomic Force Microscope. Microelectronic Engineering, 2002, 61-62, pp.517. ⟨hal-03521608⟩
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