Studying phase change memory devices by coupling scanning precession electron diffraction and energy dispersive X-ray analysis

Loïc Henry (1, 2) , Nicolas Bernier (2) , Martin Jacob (2) , Gabriele Navarro (2) , Laurent Clément (1) , Jean-Luc Rouvière (3) , Eric Robin (3)

1 STMicroelectronics
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 MEM - Modélisation et Exploration des Matériaux

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Loïc Henry, Nicolas Bernier, Martin Jacob, Gabriele Navarro, Laurent Clément, et al.. Studying phase change memory devices by coupling scanning precession electron diffraction and energy dispersive X-ray analysis. Acta Materialia, 2020, 201, pp.72 - 78. ⟨10.1016/j.actamat.2020.09.033⟩. ⟨hal-03493618⟩