Mise en œuvre de capteurs RF-MEMS acoustiques pour l’industrie 4.0

Yannick Dusch (1, 2) , Cécile Ghouila-Houri (1, 2) , Aurélien Mazzamurro (1, 2) , Ghizlane Boussatour (1) , Hatem Dahmani (1) , Olivier Bou Matar (1, 2) , Vincent Maurice (1, 2) , Philippe Pernod (1, 2) , Abdelkrim Talbi (1, 2)

1 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
2 AIMAN-FILMS - IEMN - Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN

Cette étude propose la conception complète d’un système de suivi à distance des sollicitations mécaniques dans les machines électriquesafin de répondre aux problématiques de l’industrie 4.0 et de la maintenance prédictive. Elle s’appuie sur la conception, la fabrication et la caractérisation de MEMS acoustiques hautes fréquences (bande ISM à 433MHz) intégrés à un banc de test et comparés aux performances de jauges de déformation commerciales.

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Yannick Dusch, Cécile Ghouila-Houri, Aurélien Mazzamurro, Ghizlane Boussatour, Hatem Dahmani, et al.. Mise en œuvre de capteurs RF-MEMS acoustiques pour l’industrie 4.0. 16emes journées pédagogiques du CNFM, JPCNFM’2021, CNFM, Dec 2021, Saint-Malo, France. 6 p., J3eA Hors-série 1 - Actes JPCNFM’2021, Volume 21 (2022), ⟨10.1051/j3ea/20221019⟩. ⟨hal-03464507⟩