Communication Dans Un Congrès
Année : 2021
amael caillard : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03436411
Soumis le : vendredi 19 novembre 2021-12:18:27
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:24
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03436411 , version 1
Citer
Soumya Atmane, Nouhaila Rochdi, Amael Caillard. Bipolar hipims for filling silicon trenches and porous substrate. Journées 2021 du GdR EMILI, Oct 2021, Palaiseau, France. ⟨hal-03436411⟩
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