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Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Bipolar hipims for filling silicon trenches and porous substrate

Domaines

Plasmas
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03436411 , version 1 (19-11-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03436411 , version 1

Citer

Soumya Atmane, Nouhaila Rochdi, Amael Caillard. Bipolar hipims for filling silicon trenches and porous substrate. Journées 2021 du GdR EMILI, Oct 2021, Palaiseau, France. ⟨hal-03436411⟩
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