Inter-tier Coupling Analysis in Back-illuminated Monolithic 3DSI Image Sensor Pixels

Petros Sideris (1) , Arnaud Peizerat (2) , Perrine Batude (2) , Christoforos Theodorou (1) , Gilles Sicard (2)

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Electronique

Petros Sideris, Arnaud Peizerat, Perrine Batude, Christoforos Theodorou, Gilles Sicard. Inter-tier Coupling Analysis in Back-illuminated Monolithic 3DSI Image Sensor Pixels. 2021 10th International Conference on Modern Circuits and Systems Technologies (MOCAST), Jul 2021, Thessaloniki, Greece. ⟨10.1109/MOCAST52088.2021.9493347⟩. ⟨hal-03434032⟩