Investigation of mechanical modes coupling in silicon nitride drum resonators at room temperature

A Pokharel; Srisaran Venkatachalam; H Xu; Xin Zhou

Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Investigation of mechanical modes coupling in silicon nitride drum resonators at room temperature

(1) , (1, 2) , (1) , (1, 2)

1
2

A Pokharel

Fonction : Auteur
PersonId : 1113783

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Srisaran Venkatachalam

Fonction : Auteur

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Nano and Microsystems - IEMN

H Xu

Fonction : Auteur

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Xin Zhou

Fonction : Auteur
PersonId : 180150
IdHAL : xin-zhou
ORCID : 0000-0002-8516-2142
IdRef : 242719627

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520

Nano and Microsystems - IEMN

CV

Domaines

Physique [physics]

abstract_verFinal.pdf (481.33 Ko)

Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Xin Zhou : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03381547

Soumis le : dimanche 17 octobre 2021-10:28:50

Dernière modification le : mardi 26 mars 2024-14:59:12

Dates et versions

hal-03381547 , version 1 (17-10-2021)

Identifiants

HAL Id : hal-03381547 , version 1

Citer

A Pokharel, Srisaran Venkatachalam, H Xu, Xin Zhou. Investigation of mechanical modes coupling in silicon nitride drum resonators at room temperature. 17èmes journées de la matière condensée, JMC17, Aug 2021, Rennes, France. ⟨hal-03381547⟩

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