Short-pulse laser-assisted fabrication of a hybrid Si-SiO2 microcooling device - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Proceedings of LPM 2021 Année : 2021

Short-pulse laser-assisted fabrication of a hybrid Si-SiO2 microcooling device

Alexandros Mouskeftaras
Laboratoire Lasers, Plasmas et Procédés photoniques
CV
Stephan Beurthey
  • Fonction : Auteur
Julien Cogan
Gregory Hallewell
Alessandro Mapelli
  • Fonction : Auteur
David Grojo
Laboratoire Lasers, Plasmas et Procédés photoniques
CV
Mathieu Perrin-Terrin
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique [physics] Sciences de l'ingénieur [physics]
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Soumis le : mercredi 13 octobre 2021-13:57:53

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:23

Archivage à long terme le : vendredi 14 janvier 2022-20:14:50

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Dates et versions

hal-03373998 , version 1 (13-10-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03373998 , version 1

Citer

Alexandros Mouskeftaras, Stephan Beurthey, Julien Cogan, Gregory Hallewell, Alessandro Mapelli, et al.. Short-pulse laser-assisted fabrication of a hybrid Si-SiO2 microcooling device. Laser Precision Microfabrication (LPM 2021), 2021, Hirosaki, Aomori (virtual), Japan. ⟨hal-03373998⟩

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