Piezo-tunneling strain sensors integrated on plastic by combining vacuum thin film coatings and 3D printing technologies

Rémi Rafael; Etienne Puyoo; Christophe Malhaire

doi:10.1007/s00542-020-04832-7

Article Dans Une Revue Microsystem Technologies Année : 2020

Piezo-tunneling strain sensors integrated on plastic by combining vacuum thin film coatings and 3D printing technologies

, (1) ,

1

Rémi Rafael

Fonction : Auteur

Etienne Puyoo

Fonction : Auteur
PersonId : 20762
IdHAL : etienne-puyoo
ORCID : 0000-0003-0509-0837
IdRef : 149980426

Institut des Nanotechnologies de Lyon

CV

Christophe Malhaire

Fonction : Auteur

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Fichier principal

MT 2020_E.PUYOO.pdf (650.76 Ko)

Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Etienne Puyoo : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03344465

Soumis le : mercredi 15 septembre 2021-09:44:26

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:22

Archivage à long terme le : jeudi 16 décembre 2021-18:16:10

Dates et versions

hal-03344465 , version 1 (15-09-2021)

Identifiants

HAL Id : hal-03344465 , version 1
DOI : 10.1007/s00542-020-04832-7

Citer

Rémi Rafael, Etienne Puyoo, Christophe Malhaire. Piezo-tunneling strain sensors integrated on plastic by combining vacuum thin film coatings and 3D printing technologies. Microsystem Technologies, 2020, ⟨10.1007/s00542-020-04832-7⟩. ⟨hal-03344465⟩

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