Helium-charged aluminum and silicon films deposited by Direct Current Magnetron Sputtering

Sara Ibrahim (1) , Pascal Brault (1) , Amael Caillard (1) , Thierry Sauvage (2) , Pierre Desgardin (2) , M.F. Barthe (2) , D Hufschmidt (3) , Asuncion Fernandez (3) , A.L. Thomann (1)

1 GREMI - Groupe de recherches sur l'énergétique des milieux ionisés
2 CEMHTI - Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
3 ICMSE - Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla

Domaines: Matériaux; Plasmas

Sara Ibrahim, Pascal Brault, Amael Caillard, Thierry Sauvage, Pierre Desgardin, et al.. Helium-charged aluminum and silicon films deposited by Direct Current Magnetron Sputtering. PLATHINIUM 2021, Sep 2021, Online, France. ⟨hal-03343986⟩