Article Dans Une Revue
Sensors and Actuators A: Physical
Année : 1995
Martine LE BERRE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03328884
Soumis le : lundi 30 août 2021-14:17:46
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:22
Citer
B. Semmache, M. Lemiti, P. Kleimann, Martine Le Berre, D. Barbier, et al.. Rapid thermal processing of piezoresistive polycrystalline silicon films: An innovative technology for low cost pressure sensor fabrication. Sensors and Actuators A: Physical , 1995, 46 (1-3), pp.76-81. ⟨10.1016/0924-4247(94)00865-F⟩. ⟨hal-03328884⟩
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