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Sensors and Actuators A: Physical
Année : 1995
Martine LE BERRE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03328874
Soumis le : lundi 30 août 2021-14:15:43
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:22
Citer
Martine Le Berre, M. Lemiti, D. Barbier, P. Pinard, J. Cali, et al.. Piezoresistance of boron-doped PECVD and LPCVD polycrystalline silicon films. Sensors and Actuators A: Physical , 1995, 46 (1-3), pp.166-170. ⟨10.1016/0924-4247(94)00883-J⟩. ⟨hal-03328874⟩
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