Article Dans Une Revue
Sensors and Actuators A: Physical
Année : 1999
Martine LE BERRE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03328847
Soumis le : lundi 30 août 2021-14:03:45
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:22
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03328847 , version 1
- DOI : 10.1016/S0924-4247(98)00312-4
Citer
C Malhaire, Martine Le Berre, D Febvre, D Barbier, P Pinard. Effect of clamping conditions and built-in stresses on the thermopneumatic deflection of SiO2/Si membranes with various geometries. Sensors and Actuators A: Physical , 1999, 74 (1-3), pp.174-177. ⟨10.1016/S0924-4247(98)00312-4⟩. ⟨hal-03328847⟩
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