Compositional gradient in and mechanical stability of RF-sputtered and RTA annealed Pb(Zr,Ti)O3 thin films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 1999

Compositional gradient in and mechanical stability of RF-sputtered and RTA annealed Pb(Zr,Ti)O3 thin films

Emmanuel Defaÿ
  • Fonction : Auteur
Bachir Semmache
  • Fonction : Auteur
Christiane Dubois
  • Fonction : Auteur
Martine Le Berre
Daniel Barbier
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-03328839 , version 1 (30-08-2021)

Identifiants

Citer

Emmanuel Defaÿ, Bachir Semmache, Christiane Dubois, Martine Le Berre, Daniel Barbier. Compositional gradient in and mechanical stability of RF-sputtered and RTA annealed Pb(Zr,Ti)O3 thin films. Sensors and Actuators A: Physical , 1999, 74 (1-3), pp.77-80. ⟨10.1016/S0924-4247(98)00351-3⟩. ⟨hal-03328839⟩
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