Article Dans Une Revue
Sensors and Actuators A: Physical
Année : 1999
Martine LE BERRE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03328839
Soumis le : lundi 30 août 2021-13:57:00
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:22
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03328839 , version 1
- DOI : 10.1016/S0924-4247(98)00351-3
Citer
Emmanuel Defaÿ, Bachir Semmache, Christiane Dubois, Martine Le Berre, Daniel Barbier. Compositional gradient in and mechanical stability of RF-sputtered and RTA annealed Pb(Zr,Ti)O3 thin films. Sensors and Actuators A: Physical , 1999, 74 (1-3), pp.77-80. ⟨10.1016/S0924-4247(98)00351-3⟩. ⟨hal-03328839⟩
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