Tracking polarization loss and imprint during electrical tests in sputtered TiN/HZO/TiN capacitors - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Tracking polarization loss and imprint during electrical tests in sputtered TiN/HZO/TiN capacitors

Bertrand Vilquin
INL - Matériaux Fonctionnels et Nanostructures
CV
Jordan Bouaziz
Nicolas Baboux
Pedro Rojo Romeo

Domaines

Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Matériaux

Bertrand Vilquin  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-03273116

Soumis le : lundi 28 juin 2021-21:56:07

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:22

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03273116 , version 1 (28-06-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03273116 , version 1

Citer

Bertrand Vilquin, Jordan Bouaziz, Nicolas Baboux, Pedro Rojo Romeo. Tracking polarization loss and imprint during electrical tests in sputtered TiN/HZO/TiN capacitors. Novel high-k workshop applications, NamLab, Apr 2021, Dresden, Germany. ⟨hal-03273116⟩

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