Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-03178730
Soumis le : mercredi 24 mars 2021-03:47:13
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:55:32
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03178730 , version 1
Citer
A Elshear, R Stricher, Serge Ecoffey, Maxime Darnon, Dominique Drouin. Patterning Platinum using BEOL industrially compatible processes; Chemical Mechanical Polishing vs. ICP Plasma etching. 44th International Conference on Micro and Nanoengineering, Sep 2019, Copenhage, Denmark. ⟨hal-03178730⟩
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