Wafer-scale integration of piezoelectric actuation capabilities in nanoelectromechanical systems resonators

Denis Dezest (1) , Fabrice Mathieu (2) , Laurent Mazenq (3) , Caroline Soyer (4) , Jean Costecalde (4) , Denis Remiens (4) , Olivier Thomas (5, 6) , Jean-François Deü (5) , Liviu Nicu (1)

1 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
2 LAAS-I2C - Service Instrumentation Conception Caractérisation
3 LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 LMSSC - Laboratoire de Mécanique des Structures et des Systèmes Couplés
6 LSIS - Laboratoire des Sciences de l'Information et des Systèmes

In this work, we demonstrate the integration of piezoelectric actuation means on arrays of nanocantilevers at the wafer scale. We use lead titanate zirconate (PZT) as piezoelectric material mainly because of its excellent actuation properties even when geometrically constrained at extreme scale

Mots clés: Wafer-scale integration; Piezoelectric; Nanoelectromecanical systems resonators

Domaines: Vibrations [physics.class-ph]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Denis Dezest, Fabrice Mathieu, Laurent Mazenq, Caroline Soyer, Jean Costecalde, et al.. Wafer-scale integration of piezoelectric actuation capabilities in nanoelectromechanical systems resonators. 2013 Nanomechanical Sensing Workshop, May 2013, Stanford, USA, United States. pp.0. ⟨hal-03165172⟩