Indium oxide nanoparticles for Resistive RAM integration using a compatible industrial technology

P.V. Guenery , E.A. León Pérez , K. Ayadi (1) , N. Baboux (2) , D. Deleruyelle (2) , S. Blonkowski (3) , J. Moeyaert (4) , T. Baron (4) , L. Militaru (5) , A. Souifi (5)

1 INL - Nanolyon - INL - Plateforme Technologique Nanolyon
2 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques
3 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
4 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
5 INL - Institut des Nanotechnologies de Lyon

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]; Matériaux

P.V. Guenery, E.A. León Pérez, K. Ayadi, N. Baboux, D. Deleruyelle, et al.. Indium oxide nanoparticles for Resistive RAM integration using a compatible industrial technology. Solid-State Electronics, 2021, pp.107958. ⟨10.1016/j.sse.2021.107958⟩. ⟨hal-03116248⟩