Ge(Sn) growth on Si(001) by magnetron sputtering

H. Khelidj (1) , A. Portavoce (1) , M. Bertoglio (1) , M. Descoins (1) , L. Patout (1) , K. Hoummada (1) , A. Hallén (2) , A. Charaï (1) , M.C. Benoudia (3) , D. Mangelinck (1)

1 IM2NP - Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 KTH School of Electrical Engineering
3 Ecole Nationale Supérieure des Mines et de la Métallurgie, L3M, Annaba, Algeria

Domaines: Matériaux

H. Khelidj, A. Portavoce, M. Bertoglio, M. Descoins, L. Patout, et al.. Ge(Sn) growth on Si(001) by magnetron sputtering. Materials Today Communications, 2020, pp.101915. ⟨10.1016/j.mtcomm.2020.101915⟩. ⟨hal-03065804⟩