Mesures à l'échelle sub-micronique des charges piégées dans les isolants : utilisation de méthodes dérivées de la Microscopie à Force Atomique
Résumé
L'injection et l'accumulation de charges dans les isolants sont des phénomènes à l'origine de nombreuses défaillances. Pour comprendre ces phénomènes, des techniques de mesure de la charge d'espace ont été développées avec succès. Toutefois, leur résolution spatiale reste incompatible avec l'étude des films minces qui nous intéresse ici. Dans cet article nous proposons une nouvelle méthode de mesure de la charge d'espace dérivée de la microscopie à force atomique. Cette méthode, appelée EFDC (Electrostatic Force Distance Curve), permet la mesure directe de la force électrostatique induite par les charges piégées. Nous démontrons ici que cette technique est très sensible à la localisation latérale des charges piégées. La comparaison des résultats obtenus par EFDC avec ceux fournis plus classiquement par microscopie à sonde de Kelvin (KFM), montre que l'EFDC a une meilleure résolution latérale mais un caractère intrusif plus important que la méthode KFM.
Domaines
Sciences de l'ingénieur [physics]
Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)