Discussion on the Figures of Merit of Identified Traps Located in the Si Film: Surface Versus Volume Trap Densities - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue ECS Transactions Année : 2020

Discussion on the Figures of Merit of Identified Traps Located in the Si Film: Surface Versus Volume Trap Densities

B Cretu
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072
CV
Beya Nafaa
  • Fonction : Auteur
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072
Eddy Simoen
  • Fonction : Auteur
IMEC
Geert Hellings
  • Fonction : Auteur
IMEC
Dimitri Linten
  • Fonction : Auteur
IMEC
Cor Claeys
  • Fonction : Auteur
Catholic University of Leuven = Katholieke Universiteit Leuven

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-02939114

Soumis le : mardi 15 septembre 2020-12:41:36

Dernière modification le : mercredi 20 mars 2024-16:20:04

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02939114 , version 1 (15-09-2020)

Identifiants

Citer

B Cretu, Beya Nafaa, Eddy Simoen, Geert Hellings, Dimitri Linten, et al.. Discussion on the Figures of Merit of Identified Traps Located in the Si Film: Surface Versus Volume Trap Densities. ECS Transactions, 2020, 97 (5), pp.45-51. ⟨10.1149/09705.0045ecst⟩. ⟨hal-02939114⟩

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