Transmission electron microscopy and related techniques for silicon based materials characterization

Alain Claverie; Marie-José Casanove

doi:10.1016/S0167-9317(98)00274-3

Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 1998

Transmission electron microscopy and related techniques for silicon based materials characterization

, (1, 2)

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Alain Claverie

Fonction : Auteur
PersonId : 173241
IdHAL : alain-claverie
ORCID : 0000-0003-2211-4618
IdRef : 060160756

Marie-José Casanove

Fonction : Auteur
PersonId : 18522
IdHAL : marie-jose-casanove
ORCID : 0000-0002-5239-7076
IdRef : 032157290

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Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

Marie-Jose CASANOVE : Connectez-vous pour contacter le contributeur

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Soumis le : jeudi 20 août 2020-11:55:08

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:11

Dates et versions

hal-02918279 , version 1 (20-08-2020)

Identifiants

HAL Id : hal-02918279 , version 1
DOI : 10.1016/S0167-9317(98)00274-3

Citer

Alain Claverie, Marie-José Casanove. Transmission electron microscopy and related techniques for silicon based materials characterization. Microelectronic Engineering, 1998, 40 (3-4), pp.239-250. ⟨10.1016/S0167-9317(98)00274-3⟩. ⟨hal-02918279⟩

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