Assessment of microscopy moving stage performance down to the 10 nm range using encoded patterns with automated reading - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2018

Assessment of microscopy moving stage performance down to the 10 nm range using encoded patterns with automated reading

Matthieu Leroy
Institut Photovoltaïque d’Ile-de-France (ITE)
CV
Oliver Acher
  • Fonction : Auteur
HORIBA France SAS

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Origine : Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

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Soumis le : lundi 8 juin 2020-10:14:33

Dernière modification le : vendredi 2 juillet 2021-13:26:01

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Dates et versions

hal-02859907 , version 1 (08-06-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02859907 , version 1

Citer

Matthieu Leroy, Oliver Acher. Assessment of microscopy moving stage performance down to the 10 nm range using encoded patterns with automated reading. Euspen 18th International Conference & Exhibition, Jun 2018, Venise, Italy. ⟨hal-02859907⟩

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