Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl<SUB>2</SUB>, O<SUB>2</SUB> and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densities - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2014

Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2, O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densities

Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Daniil Marinov
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Emile Carbone
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611329

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:46:20

Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:59

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Dates et versions

hal-02611329 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611329 , version 1

Citer

Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert. Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2, O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densities. GEC, Nov 2014, Raleigh, North Carolina, United States. 2014. ⟨hal-02611329⟩

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