Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl<SUB>2</SUB>,O<SUB>2</SUB> and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densities - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2014

Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2,O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densities

Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Emile Carbone
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:45:22

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Dates et versions

hal-02611325 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611325 , version 1

Citer

Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert. Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2,O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densities. PESM, May 2014, Grenoble, France. 2014. ⟨hal-02611325⟩

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