Electron densities and temperatures in a Cl<SUB>2</SUB>/Ar ICP - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2010

Electron densities and temperatures in a Cl2/Ar ICP

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Rodolphe Sarot
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Emilie Despiau-Pujo
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
L. Gatilova
  • Fonction : Auteur
S. Bouchoule
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611281

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:36:13

Dernière modification le : samedi 7 octobre 2023-21:36:23

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611281 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611281 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Rodolphe Sarot, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, L. Gatilova, et al.. Electron densities and temperatures in a Cl2/Ar ICP. Gaseous Electronics Conference, Oct 2010, Paris, France. 2010. ⟨hal-02611281⟩

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