Plasma inductif en Cl<SUB>2</SUB>/Ar : comparaison entre simulations hybrides et expériences - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2010

Plasma inductif en Cl2/Ar : comparaison entre simulations hybrides et expériences

Pascal Chabert
Jean-Paul Booth
L. Gatilova
  • Fonction : Auteur
S. Bouchoule
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611278 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611278 , version 1

Citer

Rodolphe Sarot, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth, L. Gatilova, et al.. Plasma inductif en Cl2/Ar : comparaison entre simulations hybrides et expériences. Congres de la Division Plasma du SFP, May 2010, Bordeaux, France. 2010. ⟨hal-02611278⟩
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